2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17 ナノカーボン » 17.3 層状物質

[16a-F203-1~11] 17.3 層状物質

2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:15 F203 (F203)

安藤 淳(産総研)

11:30 〜 11:45

[16a-F203-9] 基板と相互作用したCVD-MoS2の表裏面の結晶性評価

〇(M2)倉林 空1、長汐 晃輔1,2 (1.東大工、2.JST-さきがけ)

キーワード:MoS2、結晶性、CVD

酸化基板上で成長したCVD-MoS2は基板のO原子と化学結合を形成するという報告があり,結晶性に上限を与える可能性がある.そこで本研究ではCVDのMoS2をそのまま転写した試料と裏返して転写した試料に対してBG変調での電気測定を行い,CVD-MoS2の裏面と表面の結晶性の評価を行った.