[16a-F205-1~11] 11.4 アナログ応用および関連技術

[16a-F205-5] 単一超伝導体 Ir を用いた極小ピクセル TES の開発

〇三浦 義隆¹、入松川 知也¹、石井 裕也¹、大野 雅史¹、高橋 浩之¹ (1.東大工)

キーワード：超伝導転移端センサ、極小ピクセル、単一超伝導体

化学的安定性が極めて高い Ir を超伝導転移端センサ (TES) に用いた放射線検出器の開発研究を進めてきた。Ir はバルクで 112 mK に急峻な超伝導転移を有し、それを単一超伝導薄膜として TES の温度センサ部に用いても優れたエネルギー分解能が期待される。この単一超伝導 Ir 薄膜 の特性を最大限生かすべく、センサ薄膜部を極小化することで感度特性と応答速度を大きく向上させた単一光子検出器の実現を目指す。今回は、TES の性能を左右する金属膜の状態などについて報告を行う。