[16a-P3-1~32] 12.7 医用工学・バイオチップ

[16a-P3-27] フォトニック結晶ナノレーザバイオセンサの安定化に向けた原子層体積法で修飾したAPTESの評価

〇羽中田 祥司¹、田中 淳大¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大・院工)

キーワード：APTES、原子層堆積、分光エリプソメトリー

我々はGaInAsPフォトニック結晶 (PC) ナノレーザによる高感度タンパク質センシングを報告してきた．抗体は3-Triethoxysilylpropylamin (APTES)，グルタルアルデヒド (GA) を介して修飾するが，これまで厳密に基板表面に被覆されているか評価してこなかった．そこで今回は原子層堆積法 (ALD) で修飾したAPTESを分光エリプソメーター (Semi lab, SE-2000) による膜厚測定と水滴の接触角からの親水性評価からAPTES膜の評価を行った．