[16a-P5-1~15] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[16a-P5-5] レーザアニールによるn⁺ 4H-SiC C面でのTi-Si-Cオーミックコンタクトの形成

〇ミランタ デシルワ¹、川崎 輝尚²、吉川 公麿¹、黒木 伸一郎¹ (1.広大 ナノデバイス、2.住友重機械工業株式会社)

キーワード：SiC、オーミック、レーザアニール