[16a-P6-1~22] CS.5 9.4熱電変換,16.2エナジーハーベスティングのコードシェアセッション

[16a-P6-20] KFMを用いたフェルミエネルギーの温度依存性測定

〇(DC)鈴木 悠平¹、岡 晃人¹、マニ ナヴァニーザン¹、渡辺 孝信²、池田 浩也¹ (1.静大電研、2.早大理工)

キーワード：KFM、Si、温度測定

ナノ構造熱電材料に対する非接触・非破壊のゼーベック係数測定のために，Kelvin-probe force microscopy (KFM)によるフェルミエネルギーの温度依存性測定を行った．測定したフェルミエネルギーはn型Siとp型Siで反対の符号を示し，高濃度の試料において絶対値で低い値を示した．これらの傾向は一般的な半導体の傾向と一致しており，KFMによる温度算出法の有効性を示唆している．