[16p-213-1~14] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[16p-213-11] 結晶性SiO₂における酸素ダングリングボンドの発光

Skuja Linards¹、〇梶原 浩一²、Grube Jurgis¹、細野 秀雄³ (1.ラトビア大、2.首都大、3.東工大)

キーワード：酸素ダングリングボンド、α-石英、発光

20Kでの時間分解サイト選択分光法によって中性子線照射した結晶性SiO₂(α-石英)中に形成された酸素ダングリングボンド(非架橋酸素ホール中心、NBOHC)の発光測定を行った。NBOHCは非晶質SiO₂特有の真性欠陥であり、照射によって非晶質化した領域に形成され、1.9 eVを中心とした幅広発光を示したが、加えて何本かの鋭い発光線が観察された。既知の1.933 eVのゼロフォノン線(ZPL)に加え、897 cm^-1のSi-O伸縮振動と結合し、1.883 eVにZPLを示す二番目の結晶性NBOHCが見出された。三番目の結晶性NBOHCは、ZPLは示さないが、66 cm^_-1の低振動数振動との特徴的な結合を示した。