[16p-213-1~14] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[16p-213-14] ZnOシード層の形態によるZnOナノロッドの成長

〇張 栖岩¹、本田 光裕¹、市川 洋¹ (1.名工大)

キーワード：酸化亜鉛、ナノロッド、水熱合成

酸化亜鉛(ZnO)柱状ナノ構造は、高いアスペクト比を持つ形状の機能性ナノ材料である。近年、その形状と大きな比表面積を利用し、高感度ガスセンサー^[1]や紫外線光源^[2]、圧電ジェネレーター^[3]などへの応用が可能なナノ材料として注目されている。本研究は、ZnOナノロッドの形態制御を目的とする。異なる厚さを持つシード層と異なる温度でアニールされたシード層上にZnOナノロッドを作製し、ZnOナノロッド成長に対するZnOシード層モフォロジーの影響を調べた。