[16p-418-1~17] 3.8 光計測技術・機器

[16p-418-16] 小型光ロータリーエンコーダ内蔵の回転走査型ＯＣＴプローブ

〇谷口 敦史¹、針山 達雄¹、渡辺 正浩¹ (1.日立研開)

キーワード：OCT、3D計測、エンコーダ

光コヒーレンストモグラフィ（Optical Coherence Tomography: OCT）は、非接触に深さ、高さ方向を計測することができる技術である。本研究では、OCT技術の工業応用に向け金属部品の寸法および3D形状の高精度計測を目的に、小型光ロータリーエンコーダを内蔵し、不均一な小型回転モータの角度補正機能を付加した直径4mmの回転走査型OCTプローブを開発した。