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[16p-418-16] 小型光ロータリーエンコーダ内蔵の回転走査型OCTプローブ
キーワード:OCT、3D計測、エンコーダ
光コヒーレンストモグラフィ(Optical Coherence Tomography: OCT)は、非接触に深さ、高さ方向を計測することができる技術である。本研究では、OCT技術の工業応用に向け金属部品の寸法および3D形状の高精度計測を目的に、小型光ロータリーエンコーダを内蔵し、不均一な小型回転モータの角度補正機能を付加した直径4mmの回転走査型OCTプローブを開発した。