[16p-422-1~11] 3.2 材料・機器光学

[16p-422-8] 紫外光用LCOS型空間位相変調器の検討

〇西立野 将史¹、鄭 麗和²、桜井 康樹¹、平等 拓範² (1.santec、2.分子研)

キーワード：液晶素子、紫外光、位相変調器

従来のLCOS（Liquid Crystal On Silicon）素子は可視域での使用を前提に開発されたため液晶材料の吸収端波長は通常400 nm前後にあり、紫外（UV）光では動作しないのが一般的である。今回、吸収端波長が350 nm以下にあるUV耐性液晶を用いてLCOS素子を試作、そのUV光耐力を従来のディスプレイ用（可視用）LCOS素子と併せて比較評価したので報告する。