[16p-424-1~8] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[16p-424-7] タンデム型SIMS装置を用いた検出限界の改善

〇鈴木 敢士¹、瀬木 利夫¹、青木 学聡¹、松尾 二郎¹ (1.京大院工)

キーワード：二次イオン質量分析法、タンデム質量分析法、クラスターイオンビーム