[16p-502-1~10] 先進パワーデバイスのプロセス技術

[16p-502-9] ダイヤモンドの結晶成長技術

〇小泉 聡¹ (1.物材機構)

キーワード：ダイヤモンド、化学気相成長、半導体

ダイヤモンドの気相成長法は1980年代に日本で確立された我が国オリジナルの技術である。ダイヤモンドを合成するためには水素原子を利用したCVD法が主に用いられる。水素原子の発生手法によりいくつかの方法があるが、半導体研究に最も広く使われているのはマイクロ波プラズマCVD法である。講演では主にドーピング制御に関して筆者らが行ってきた研究を中心に結果を紹介する。