[16p-512-1~10] 薄膜・多層膜の界面イメージング

[16p-512-10] XANAMの効率的運用を目指した測定法の検討

〇鈴木 秀士¹、向井 慎吾²、田 旺帝³、野村 昌治⁴、朝倉 清高² (1.名大院工、2.北大触媒研、3.ICU、4.KEK-PF)

キーワード：放射光X線、非接触原子間力顕微鏡、元素分析

表面／界面のナノ構造を個々に識別しながら、元素・化学状態を特定する手法として「X線支援原子間力顕微鏡(XANAM)」を開発してきた。ただし、測定事例を増やすにはまだ時間的・技術的側面を改善し、より簡易かつ迅速にナノ構造の元素種に関する信号検出を可能とすることが望まれる。今回、この要請に沿った方法を提案し、実際にNiナノ粒子/HOPGで測定した結果について報告する。