[16p-B6-1~16] 17.2 グラフェン

[16p-B6-4] 酸化グラフェンのプラズマ高次還元による2層グラフェン作製

〇小幡 誠司¹、斉木 幸一朗¹ (1.東大新領域)

キーワード：グラフェン、酸化グラフェン、プラズマ

様々な積層構造をもつ2層グラフェンを絶縁基板上に作製することは、基礎物性の解明、デバイス応用の両面から有用である。今回は我々が開発したプラズマを用いた酸化グラフェン(GO)の高次還元を用いて、その作製を目指した。還元したグラフェンを作製した後、再度GOを成膜しプラズマ処理を行うことで2層グラフェンの作製を行った。