[16p-F203-1~15] 17.3 層状物質

△ [16p-F203-10] レンズ形状のPMMA/PDMSを用いた二次元結晶のピンポイントピックアップとバブルフリー積層

〇豊田 哲史¹、ウワンノー ティーラユット¹、長汐 晃輔^1,2 (1.東大マテリアル、2.JST-さきがけ)

キーワード：積層

・レンズ形状のPDMS/PMMAを用いてBNのピックアップ/積層を行った
・高い確率でBNピックアップを割れずに成功させた
・先行研究と同様に、高温でゆっくりBN同士を貼りあわせるとバブルが追い出せた