[16p-P13-1~21] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[16p-P13-11] 高性能プラズモニックナノアレイ構造の作製と評価

〇(D)森 智博¹、森 岳志²、田中 康弘¹、須崎 嘉文¹、山口 堅三¹ (1.香川大工、2.和歌山工技セ)

キーワード：プラズモニクス、集束イオンビーム

プラズモニクスで利用される金属ナノ構造の作製の一つに、集束イオンビームを用いた金属薄膜からの成形方法がある。多結晶金属薄膜の結晶粒界を代表する内部欠陥は、光損失の要因となるため、単結晶金属薄膜の積極利用が期待されている。今回、NaCl(001)基板上にエピタキシャル成長したAg薄膜を利用することで、従来困難であった透明非晶質基板上への単結晶金属薄膜の形成およびナノ構造体の作製法を見出したので報告する。