[16p-P2-1~7] 6.1 強誘電体薄膜

[16p-P2-6] 接触センサへの応用に向けたP(VDF-TrFE)ゲートFET構造の作製

〇山本 堅太郎¹、宝田 隼¹、古川 昭雄¹ (1.東理大理工)

キーワード：P(VDF-TrFE)