[16p-P2-1~7] 6.1 強誘電体薄膜

[16p-P2-7] SPMを用いた電気熱量効果の直接測定の検討

〇松下 裕司¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大院工)

キーワード：電気熱量効果、原子間力顕微鏡、走査ジュール熱膨張顕微鏡法

近年、強誘電体の電気熱量効果が注目を集めている。ヒートポンプ応用を考えたとき、熱伝導度や熱抵抗などの強誘電体薄膜の熱物性を明らかにする必要がある。今回、SPMを用いた走査ジュール熱膨張顕微鏡（SJEM）を用いた電気熱量効果の直接測定に取り組んだ。BaTiO₃薄膜上にPt電極を製膜し、その試料上にPPMAを塗布したサンプル上で測定をした結果、EC由来の熱膨張が確認できた。