[16p-P3-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P3-19] CSD法でバッファ層を堆積した水素終端ダイヤモンドMISFET

〇(B)庄司 駿輔¹、古市 浩幹¹、川江 健¹ (1.金沢大)

キーワード：ダイヤモンド