[16p-P7-1~36] 13.9 光物性・発光デバイス

[16p-P7-22] ミストCVD法により作製したZnO膜の発光特性の成膜速度依存性

〇中田 克弥¹、菅野 剛志¹、深田 晴己¹、山口 敦史¹ (1.金沢工大　光電相互変換デバイスシステム研究開発センター)

キーワード：ZnO、ミストCVD法、励起子発光