[16p-P8-1~23] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-5] フレキシブル基板上に形成した酸化亜鉛薄膜の曲げ耐性と抵抗評価

〇永山 幸希¹、芦田 浩平¹、孫 屹¹、カルトシュタイン オリバー¹、小山 政俊¹、前元 利彦¹、佐々 誠彦¹ (1.大阪工大ナノ材研)

キーワード：酸化亜鉛、薄膜トランジスタ、フレキシブル

近年,透明フレキシブルディスプレイなどへの応用に向けた酸化亜鉛系薄膜トランジスタなどの研究に注目が集まっている.ここで,プラスチックなどのフレキシブル基板は熱に弱いため高温の熱処理のない加工プロセスが求められる.フレキシブルデバイスとして使用する為には,曲げても壊れないことや曲げに対する強度が必要となる.今回,フレキシブル基板上に作製したZnO薄膜の曲げ状態での特製評価を行ったのでその結果について報告する．