[17a-301-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[17a-301-8] SiC(000-1)のウェット酸化における界面酸化剤濃度

〇芹澤 直也¹、蓮沼 隆¹、山部 紀久夫¹ (1.筑波大学)

キーワード：ウェット酸化、Deal-Grove