[17a-411-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[17a-411-11] Pb(Zr,Ti)O₃厚膜キャパシタ構造の一括水リフトオフパターニング

東浦 峻太¹、〇森本 章治¹ (1.金沢大院自然)

キーワード：強誘電体薄膜、一括水リフトオフ

膜厚約2 μmを有するPb(Zr,Ti)O₃(PZT)厚膜とPt上部電極薄膜をPLD法で堆積し、このPZT厚膜とPt上部電極の一括水リフトオフパターニングによりPZT厚膜キャパシタ構造の作製を試みた。非晶質CaOを犠牲層に用いた強誘電体と上部電極の一括水リフトオフプロセスにより、良好な強誘電特性を持つPZT厚膜キャパシタ構造を得ることができた。リフトオフに用いた水はPZT薄膜の強誘電体特性に与える影響はほとんどないことがわかった。