[17a-411-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[17a-411-3] チタン酸ジルコン酸バリウムナノキューブ3D集積体の特性

〇三村 憲一¹、加藤 一実¹ (1.産総研)

キーワード：ナノクリスタル、チタン酸バリウム、自己集合

ナノクリスタルのボトムアップによる規則配列集積技術は、高配向性および界面での特異な性質の発現などのため、飛躍的な特性向上や新規特性の発現が期待できる。これまでチタン酸バリウム系誘電体ナノキューブの三次元規則配列集積体の作製とそれらの高い誘電特性を実証し、その起源がナノサイズにおいても高い結晶性を有する単結晶であることと同時に界面に局所歪みが導入されていることを考察してきた。本研究では、Tiの一部をZrで置換したチタン酸ジルコン酸バリウムナノキューブ（BZT_x NC, x: Zrの置換量） 3D集積体のZr置換量による電気的特性の変化について検討を行った。