[17a-411-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[17a-411-9] プロトン直接描画用強誘電体厚膜の作成

平出 惇¹、〇山口 正樹^1,2、増田 陽一郎³ (1.芝浦工大工、2.芝浦工大RCGI、3.八戸工大工)

キーワード：強誘電体、プロトンビーム照射、厚膜

強誘電体材料の示す圧電特性は，MEMS素子やエネルギーハーベスタとしての応用面から期待されている．そこで我々は，フレキシブルな加工が可能なプロトンビームを利用した，厚膜の直接パターニングを提案している．本講演では，MOD溶液を用いたプロトンビーム照射用ディップコート厚膜の形成について述べる．