PDF ダウンロード スケジュール 22 いいね! 0 コメント (0) 10:00 〜 10:15 [17a-503-5] スパッタ法AlN膜の高温アニールとHVPE法によるホモエピ成長 〇劉 怡康1、三宅 秀人1,2、平松 和政1、岩谷 素顕3、赤崎 勇3 (1.三重大工、2.三重大院・地域イノベ、3.名城大・理工) キーワード:AlN アニール ホモエピ