[17a-F204-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [17a-F204-8] 高NAシングルモード光ファイバ実装に向けた高効率エレファントカプラの提案

〇渥美 裕樹¹、吉田 知也¹、面田 恵美子¹、榊原 陽一¹ (1.産総研)

キーワード：シリコンフォトニクス、光結合器

シリコンフォトニクスチップの量産化に向け、ウエハレベルでの非破壊光テスト技術、また光ファイバを代表とする外部光素子との低コストかつ高性能な光実装技術に注目が集まっている。今回、高NAシングルモードファイバとの高効率結合を実現する表面結合型光カプラ(エレファントカプラ)を提案する。