[17a-P4-1~39] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[17a-P4-25] 印刷法に基くポリマーカンチレバーの作製とセンサ応用

〇金澤 周介¹、日下 靖之¹、山本 典孝¹、牛島 洋史¹ (1.産総研FLEC)

キーワード：センサー、高分子材料、カンチレバー

トリリオンセンサ社会と呼ばれるセンサの大量消費社会に向けては、センサデバイスの高効率製造技術を確立することが高性能化と並び必須である。我々は印刷技術の応用により、センサのコア部に適用可能なポリマーカンチレバーを、犠牲層を必要とせずなおかつ大幅に簡略化された工程で作製できる新規プロセスを開発した。当日は得られたポリマーカンチレバーを用いたセンサの駆動と併せて報告する。