[17p-211-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[17p-211-9] コロナ放電とレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡を併用したフラットバンド電圧の非接触測定

〇伊藤 明¹、望月 敏光³、高瀬 恵宏¹、中西 英俊¹、棚橋 克人³、川山 巌²、斗内 政吉²、白澤 勝彦³、高遠 秀尚³ (1.SCREEN、2.阪大レーザー研、3.産総研)

キーワード：太陽電池、テラヘルツ波、パッシベーション膜

レーザーテラヘルツ放射顕微鏡(LTEM)でのパッシベーション膜評価にこれまで用いていたITO電極の代わりに新たにコロナ放電を利用し、単結晶SiウェハにSiO_x膜を堆積させたサンプルを用いてLTEMで評価した。その結果、コロナによるバンド曲がりの変化をLTEMで検出できた。LTEMにコロナ放電を組み合わせれば、ITO電極を用いることなくLTEMでパッシベーション膜評価に重要なフラットバンド電圧(THz振幅強度：0)を非接触で簡便に可視化できることになる。