[17p-315-1~12] 8.1 プラズマ生成・制御

[17p-315-3] 非平衡大気圧 He グロー放電の基礎特性と径方向均一性に及ぼす不純窒素ガス濃度の影響

〇小森 郷平¹、小田 昭紀¹ (1.千葉工大工)

キーワード：大気圧グロー放電、ヘリウム

大気圧グロー放電は,均一かつ化学的に高活性な低温プラズマであることから,薄膜形成をはじめとする材料プロセス分野において応用が期待されている．また，大気圧環境下でのプラズマ生成では，用いられるHeガスボンベには様々な純度が存在する．そこで本報告では,不純ガスを窒素ガスで代表させた場合の,不純ガス濃度が非平衡大気圧 He グロー放電の基礎特性と径方向均一性に及ぼす影響の解析を行ったので,その結果を報告する.