[17p-315-1~12] 8.1 プラズマ生成・制御

[17p-315-8] 低パワーマイクロ波源ECRISによる原子及び分子多価イオン生成とその周波数依存性

〇渡辺 拓人¹、大塚 拓郎¹、萩野 尚吾¹、津田 悠登¹、濱田 滉太¹、大西 広司¹、梅田 洋志¹、竹田 樹人¹、加藤 裕史¹ (1.阪大工)

キーワード：電子サイクロトロン共鳴