[17p-F204-1~12] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [17p-F204-4] 高速・低消費電力動作可能なSi熱光学位相シフタ

〇千葉 湧人¹、北 智洋²、山田 博仁² (1.東北大工、2.東北大院工)

キーワード：光スイッチ、熱光学効果、マルチモード導波路

Siはシリカの約10倍の熱光学定数を持つため小型・低消費電力なマイクロヒータによってSi導波路デバイスの特性を制御する事が可能である. とりわけSiに直接通電するヒータ構造では, 15 mW以下のπシフト電力と10 ms以下の高速動作が報告されている. 今回我々は, 多モード干渉導波路を利用した低損失な電極構造を提案し, 高速かつ低消費電力での位相シフト動作を実現することに成功したので報告する.