[17p-P3-1~22] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-P3-19] GaN/AlN半導体DBRの成長基板と成長雰囲気による影響

〇佐藤 悠司¹、高橋 言緒²、山田 永²、清水 三聡²、田所 貴志¹ (1.東京電機大工、2.産総研)

キーワード：半導体DBR