13:30 〜 15:30 [19p-PA4-10] GaN層の表面汚染に関する検討(1) 〇水野 愛1、岩本 正紀1、長田 拓也1、鈴木 礼央1、安藤 毅1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大学工)