09:30 〜 11:30 △ [20a-PA6-3] Si ウェーハ表面近傍における金属原子の安定性とそれに与える酸化膜の影響 〇(M1)野々田 典敬1、末岡 浩治2 (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工)