09:15 〜 09:30 △ [20a-231A-2] 紫外光照射および熱処理後のIGZO膜中の酸素空孔量 〇(M2)高森 悠圭1,3、森本 貴明1,3、福田 伸子3、大木 義路1,2 (1.早大先進理工、2.早大材研、3.産総研FLEC)