13:30 〜 15:30 [21p-PB1-4] 反応性RFマグネトロンスパッタリング法により製膜したTiNx薄膜の光学特性評価 〇近藤 裕佑1、日置 亜也子1、筧 芳治1、佐藤 和郎1、沈 用球2 (1.大阪産業技術研究所、2.阪府大工)