09:30 〜 09:45 △ [21a-133-1] 液相結晶化シリコン薄膜に対する水素プラズマパッシベーションの効果:レーザースキャン速度依存性 〇(P)海汐 寛史1、松井 卓矢1、齋 均1、松原 浩司1 (1.産総研)