09:00 〜 09:15 △ [21a-146-1] InGaN高次結合ディープエッチDBRレーザの作製プロセスの検討 〇(M2)楠本 壮1、田附 大貴1、池田 和久1、上向井 正裕1、片山 竜二1 (1.阪大院工)