10:15 〜 10:30 △ [20a-438-6] 二元スパッタリングで成膜されたSi含有DLC膜のトライボ特性 〇(M2)三輪 侑生1、小田 昭紀2、上坂 裕之3、太田 貴之1 (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)