09:30 〜 11:30 [20a-PA1-11] Arクラスター照射によるDNA/Si-MOSFETへの影響 〇中野 響1、松尾 直人1、部家 彰1、山名 一成1、高田 忠雄1、盛谷 浩右1、乾 徳夫1、佐藤 佑1、佐藤 旦2、横山 新2 (1.兵県立工、2.広島大ナノデバイス研)