13:30 〜 15:30 [19p-PA4-17] UHVスパッタエピタキシー法によるGaN単結晶層の成長(3) 〇長田 拓也1、岩元 正紀1、水野 愛1、安藤 毅1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工)