10:00 〜 10:15 [18a-224B-5] スパッタMoS2膜の HfO2膜越し硫化における表面残留硫黄除去 〇谷川 晴紀1、松浦 賢太朗1、濱田 昌也1、坂本 拓朗1、宗田 伊理也1、星井 拓也1、角嶋 邦之1、筒井 一生1、若林 整1 (1.東工大)