09:00 〜 09:15 [21a-232-1] 高プラズマパワー密度CVDとArガスによる高配向・高生成効率NVアンサンブルの高速合成 〇辻 赳行1、小澤 勇斗1、岩崎 孝之1、波多野 睦子1 (1.東工大)