09:30 〜 11:30 [20a-PB8-2] 混合前駆体原料を用いたMOCVD法によるHfZrO2極薄膜の作製 ... ... 〇(M1)中野 元太1、中嶋 宇史1,2、橋爪 洋一郎1、岡村 総一郎1 (1.東理大理、2.JST さきがけ)