16:00 〜 18:00 [19p-PB8-2] 塩化物系ガリウム稀薄水溶液によるα 型酸化ガリウム薄膜のミストCVD 成長 〇松本 一寿1、中村 幸1、田中 一郎1、宇野 和行1 (1.和大シス工)