11:30 〜 11:45 △ [20a-438-10] ガス滞在時間に依存した成膜前駆体の生成に基づくアモルファスカーボン膜中のsp2炭素結合の制御 〇杉浦 啓嗣1、大橋 靖之1、賈 凌雲1、近藤 博基1、石川 健治1、堤 隆嘉1、竹田 圭吾2、関根 誠1、堀 勝3 (1.名大院工、2.名城大、3.名大未来社会創造機構)