09:30 〜 11:30 [20a-PA5-11] マイクロ波プラズマを用いたSi基板上へのSiN薄膜の形成及び特性改善 〇小川 隼平1、黒田 達也1、加藤 那征1、丹羽 一宏1、石崎 博基1 (1.埼工大工)