13:30 〜 15:30 [19p-PA3-1] 直接貼付InP/Si基板におけるInP薄膜の表面状態の評価 〇松浦 正樹1、早坂 夏樹1、韓 旭1、相川 政輝1、内田 和希1、杉山 滉一1、矢田 拓夢1、下村 和彦1 (1.上智大理工)