13:30 〜 15:30 [21p-PB6-1] AR-XPSによる4H-SiC (0001) on-Axis, 4° Off-Axis基板の初期酸化過程の解明 2 桑原 麻優1、佐野 良介1、荒井 仁1、佐野 泰久2、〇野平 博司1 (1.東京都市大工、2.阪大院工)